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과제번호 S1075760
과제명 고효율 실리콘 태양전지용 Boron(BBr3) Doping Furnace 장비 및 공정 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2010년도 중소기업 기술혁신개발사업 창업·실용과제 시행계획 공고
세부공고명 실용분야(창업3년 이상)
주관기관명 리드엔지니어링
관리기관명 충북지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 146,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 열처리장비
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