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창닫기과제번호 | S1067479 |
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과제명 | 나노트랜치구조 형성기술을 이용한 고집적화(8“ Si Wafer) 전력변환소자(Power MOSFET) 개발 |
사업명 | 첨단장비 활용 기술개발사업 |
공고명 | 2009년도 첨단장비 활용 기술개발지원사업 하반기 지원계획 공고 |
세부공고명 | 첨단연구장비 활용과제 |
주관기관명 | (주)파워솔루션 |
관리기관명 | 대구경북지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 274,000,000 |
과제상태 | 성공 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체소자및 시스템 >> Si 소자 |