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과제번호 S1067479
과제명 나노트랜치구조 형성기술을 이용한 고집적화(8“ Si Wafer) 전력변환소자(Power MOSFET) 개발
사업명 첨단장비 활용 기술개발사업
공고명 2009년도 첨단장비 활용 기술개발지원사업 하반기 지원계획 공고
세부공고명 첨단연구장비 활용과제
주관기관명 (주)파워솔루션
관리기관명 대구경북지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 274,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체소자및 시스템 >> Si 소자
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