기술분야별 지원과제 검색
기술분야별검색 내용
과제번호 S1059875
과제명 ALD 장비의 공정 모니터링 시스템용 S/W 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2009년도 중소기업기술혁신개발사업 지원계획 통합공고 (1차)
세부공고명 선도과제
주관기관명 한국에이에스엠지니텍(주)
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 279,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 기타 반도체장비
재검색 목록보기