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| 과제번호 | S1059842 |
|---|---|
| 과제명 | PFCs가스량 저감하기 위한 High Density 플라즈마 장치 개발 |
| 사업명 | 중소기업기술혁신개발사업 |
| 공고명 | 2009년도 중소기업기술혁신개발사업 지원계획 통합공고 (1차) |
| 세부공고명 | 선도과제 |
| 주관기관명 | (주)제4기한국 |
| 관리기관명 | 인천지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 정부출연금 | 400,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 기타 반도체장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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