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| 과제번호 | S1036803 |
|---|---|
| 과제명 | In-situ 플라즈마 칼라와 라디칼의 통합감시 시스템 |
| 사업명 | 중소기업기술혁신개발사업 |
| 공고명 | 2008년도 중소기업기술혁신개발사업 지원계획 공고(전략과제) |
| 세부공고명 | 우수 특허과제 |
| 주관기관명 | (주)파이맥스 |
| 관리기관명 | 한국발명진흥회 |
| 전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 정부출연금 | 212,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 광응용기기 >> 광계측ㆍ제어기기 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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