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창닫기과제번호 | S1035499 |
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과제명 | 가변 주파수제어방법을 이용한 대구경 웨이퍼 초음파가공시스템 기술 개발 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발사업 |
공고명 | 2008년도 중소기업기술혁신개발사업 지원계획 공고(전략과제) |
세부공고명 | 글로벌 전략과제(31개분야 자유응모) |
주관기관명 | 선진쏘닉테크 |
관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
정부출연금 | 196,000,000 |
과제상태 | 성공 |
산업기술분류 | 기계ㆍ소재 >> 나노ㆍ마이크로 기계시스템 >> 나노 마이크로기계시스템 관련 S/W |