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과제번호 S1035499
과제명 가변 주파수제어방법을 이용한 대구경 웨이퍼 초음파가공시스템 기술 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2008년도 중소기업기술혁신개발사업 지원계획 공고(전략과제)
세부공고명 글로벌 전략과제(31개분야 자유응모)
주관기관명 선진쏘닉테크
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 196,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 나노ㆍ마이크로 기계시스템 >> 나노 마이크로기계시스템 관련 S/W
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