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과제번호 S1015938
과제명 전자빔 리소그라피가 가능한 주사전자현미경개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2007년도 중소기업기술혁신개발사업 지원계획 공고(전략과제)
세부공고명 수요조사 발굴과제
주관기관명 (주)쎄크
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 296,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 계측기기 >> 물리량 시험/분석 계측기
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