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과제번호 S1014322
과제명 Emission Intensity feedback 방식에 의한 대면적 평판 플라즈마 소스의 개발
사업명 기업협동형기술개발사업
공고명 2003년도 기업협동형기술개발사업 지원계획 공고
세부공고명 자유응모과제
주관기관명 (주)쎄미시스코
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 120,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 전기전자부품 >> 기타 전기전자부품
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