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과제번호 S1011151
과제명 조대입자(Macro particle)가 없는 아크소스(Arc source)의 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2006년도 중소기업기술혁신개발사업 일반과제(이노비즈 우선지원대상)
세부공고명 일반과제
주관기관명 아이시스(주)
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 71,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 표면처리 >> 박막제조기술
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