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과제번호 C0564167
과제명 mini-ALD 장비 및 공정 기술 개발
사업명 도약기술개발사업
공고명 2017년도 산학연협력 기술개발사업 시행계획 공고
세부공고명 2017년도 산학연협력 기술개발사업 도약(3차, 본선접수)
주관기관명 넥서스비
관리기관명 전북지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 86,652,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 디스플레이 >> 디스플레이 제조장비
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