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과제번호 C0563654
과제명 반도체 실리콘 웨이퍼 CMP용 실리카 연마슬러리 제조 파일롯 플랜트 구축
사업명 첫걸음기술개발사업
공고명 2017년도 산학연협력 기술개발사업 시행계획 공고
세부공고명 2017년도 산학연협력 기술개발사업 첫걸음(3차, 본선접수)
주관기관명 (주)제이쓰리
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 66,666,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체소자및 시스템 >> 반도체 재료
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