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| 과제번호 | C0436105 |
|---|---|
| 과제명 | 저온(100 ℃ 이하) ALD SiNx 박막 형성 기술 개발 및 이를 통한 Si precursors 개량 |
| 사업명 | 산연전용과제 |
| 공고명 | 2016년 산학연협력 기술개발사업(산연전용(긴급R&D)) 시행계획공고 |
| 세부공고명 | 2016년 산학연협력 기술개발사업(산연전용(긴급R&D)) 시행계획 공고 |
| 주관기관명 | 한국화학연구원 |
| 관리기관명 | 한국산학연협회 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 100,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 화학 >> 정밀화학 >> 전자산업용 정밀화학소재 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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