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| 과제번호 | C0336913 |
|---|---|
| 과제명 | 반도체 식각 장비용 시즈닝 공정 최적화 기술 개발 |
| 사업명 | 이공계전문가기술개발서포터즈사업 |
| 공고명 | 2015년도 이공계전문가 기술개발서포터즈사업 |
| 세부공고명 | 전담과제 |
| 주관기관명 | 대학산업기술지원단 |
| 관리기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 29,500,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 에칭 장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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