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과제번호 C0300927
과제명 Thick Film 증착을 위한 스퍼터링의 응력제어 공정 개발
사업명 도약기술개발사업
공고명 2015년도 산학연협력 기술개발사업(자율편성형) 도약R&D-참여기관(컨소시엄)
세부공고명 2015년도 산학연협력 기술개발사업(자율편성형) 도약R&D-참여기관(컨소시엄과제)
주관기관명 용인예술과학대학교산학협력단
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산학연협회
정부출연금 86,976,000
과제상태 성공
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 표면처리 >> 박막제조기술
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