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| 과제번호 | C0296933 |
|---|---|
| 과제명 | 플렉서블 디바이스 응용을 위한 고효율 플라즈마 원자층증착기 ( Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition ) 개발 |
| 사업명 | 도약기술개발사업 |
| 공고명 | 2015년도 산학연협력 기술개발사업(자율편성형) 도약R&D-주관기관(단독) |
| 세부공고명 | 2015년도 산학연협력 기술개발사업(자율편성형) 도약R&D-주관기관(단독과제) |
| 주관기관명 | 충남대학교산학협력단 |
| 관리기관명 | 대전세종지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 한국산학연협회 |
| 정부출연금 | 83,530,000 |
| 과제상태 | 실패 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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