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| 과제번호 | C0278478 |
|---|---|
| 과제명 | 반도체 공정용 청정공기 생산을 위한 대유량 질량유량 증폭기 개발 |
| 사업명 | 도약기술개발사업 |
| 공고명 | 2015년도 산학연협력 기술개발사업(일반형) 도약R&D 시행 공고 |
| 세부공고명 | 2015년도 산학연협력 기술개발사업(일반 도약) 1차 |
| 주관기관명 | 성균관대학교산학협력단 |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 한국산학연협회 |
| 정부출연금 | 80,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 기계ㆍ소재 >> 청정생산 >> 청정생산 공정설계 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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