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과제번호 C0234276
과제명 반도체 초고온박막공정을 위한 AlN 히터용 Shaft 개발
사업명 첫걸음 R&D
공고명 2014년도 산학연협력 기술개발사업(일반형) 첫걸음-동일지역
세부공고명 2014년 산학연협력 기술개발사업(일반형) 3차 첫걸음-동일지역
주관기관명 강릉원주대학교산학협력단
관리기관명 강원지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산학연협회
정부출연금 43,546,000
과제상태 성공
산업기술분류 화학 >> 세라믹재료 >> 고강도ㆍ열 기능재료
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