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과제번호 C0161421
과제명 포스트 에칭 포토레지스트 에칭 중합체 및 잔류물을 제거하기 위한 스트리퍼 개발
사업명 연구장비 공동활용지원사업
공고명 2014년도 연구장비 공동활용 지원사업 시행계획 공고
세부공고명 2014년도 연구장비 공동활용 지원사업 시행계획 공고(참여기업)
주관기관명
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산학연협회
정부출연금
과제상태 성공
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 표면처리 >> 기타 표면처리기술
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