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창닫기과제번호 | C0158300 |
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과제명 | OLED 증착 장비의 질화알루미늄(AlN) 도가니(Crucible) 및 반도체 식각(Dry Etcher)장비의 고순도 알루미나(Al2O3) ISO(Isolator) Plate Modify 제품 개발 |
사업명 | 연구장비 공동활용지원사업 |
공고명 | 2014년도 연구장비 공동활용 지원사업 시행계획 공고 |
세부공고명 | 2014년도 연구장비 공동활용 지원사업 시행계획 공고(참여기업) |
주관기관명 | |
관리기관명 | 광주전남지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 한국산학연협회 |
정부출연금 | |
과제상태 | 성공 |
산업기술분류 | 화학 >> 세라믹재료 >> 고강도ㆍ열 기능재료 |