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과제번호 C0158300
과제명 OLED 증착 장비의 질화알루미늄(AlN) 도가니(Crucible) 및 반도체 식각(Dry Etcher)장비의 고순도 알루미나(Al2O3) ISO(Isolator) Plate Modify 제품 개발
사업명 연구장비 공동활용지원사업
공고명 2014년도 연구장비 공동활용 지원사업 시행계획 공고
세부공고명 2014년도 연구장비 공동활용 지원사업 시행계획 공고(참여기업)
주관기관명
관리기관명 광주전남지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산학연협회
정부출연금
과제상태 성공
산업기술분류 화학 >> 세라믹재료 >> 고강도ㆍ열 기능재료
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