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| 과제번호 | C0017923 |
|---|---|
| 과제명 | 반도체 건식식각 장비용 정전척의 친환경 코팅기술 개발 |
| 사업명 | 산학연 공동기술개발 국제사업 |
| 공고명 | 2012년도 산학연 공동기술개발사업 |
| 세부공고명 | 2012년 산학연공동기술개발 국제사업 |
| 주관기관명 | 고려대학교산학협력단 |
| 관리기관명 | 한국산학연협회 |
| 전문기관명 | 한국산학연협회 |
| 정부출연금 | 367,764,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 기계ㆍ소재 >> 표면처리 >> 표면물성 개질기술 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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