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과제번호 S3419559
과제명 5성분계 ITGZO 박막 증착을 위한 ALD 공정 및 ITGZO Cocktail Precursor 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업(시장확대형)
공고명 2024년도 중소기업기술혁신개발사업(시장확대형-상생협력) 제2차 시행계획 공고
세부공고명 2024년도 중소기업기술혁신개발사업(시장확대형-상생협력) 제2차 시행계획 공고
주관기관명 (주) 제이아이테크
관리기관명 전북지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 486,000,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 화학 >> 화학공정 >> 기초무기소재공정기술
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