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과제번호 S3246850
과제명 반도체 패키지용 near defect-free 실리콘 스페이스 웨이퍼 제조기술 개발
사업명 산연협력(예비연구)
공고명 2022년도 산연 Collabo R&D사업(예비연구) 시행계획 공고
세부공고명 2022년도 산연 Collabo R&D사업(예비연구) 시행계획 공고
주관기관명 엠비에스코리아
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 49,200,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체소자및 시스템 >> Si 소자
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