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과제번호 S3246173
과제명 35um pitch VOx 적외선 센서의 흡수율 및 응답속도 향상을 위한 메타 표면 기술 개발
사업명 산연협력(예비연구)
공고명 2022년도 산연 Collabo R&D사업(예비연구) 시행계획 공고
세부공고명 2022년도 산연 Collabo R&D사업(예비연구) 시행계획 공고
주관기관명 주식회사 보다
관리기관명 대구경북지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 50,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체소자및 시스템 >> MEMS 소자
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