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창닫기과제번호 | S2144677 |
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과제명 | 100nm급 구조물 대면적 자동화 제작을 위한 탐침기반 나노공정장비 개발 |
사업명 | 창업과제-건강진단연계 |
공고명 | 2013년도 건강진단연계형 창업성장기술개발사업 시행계획 공고 |
세부공고명 | 건강진단연계형 창업성장기술개발사업(7월) |
주관기관명 | 프로브스 |
관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 171,080,000 |
과제상태 | 성공 |
산업기술분류 | 기계ㆍ소재 >> 나노ㆍ마이크로 기계시스템 >> 기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 |