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| 과제번호 | S0051015 |
|---|---|
| 과제명 | 타원법을 이용한 반도체 전공정 검사장치의 광학계 개발 |
| 사업명 | 중소기업기술혁신개발사업 |
| 공고명 | 2001년도 중소기업기술혁신개발사업 지원계획 공고 |
| 세부공고명 | 일반과제 |
| 주관기관명 | (주)애크론정보통신 |
| 관리기관명 | 대전세종지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 정부출연금 | 67,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 지식서비스 >> 경영전략/금융/무역서비스 >> 기타경영전략/금융/무역서비스기술 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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