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과제번호 S3026653
과제명 초소형 반도체 건식식각장비 부품 적용 내플라즈마성 물리적기상증착 초고밀도 YAG 코팅기술 개발
사업명 시장친화형 기능개선R&D
공고명 2020년 중소기업 기술사업화 역량강화 사업 시장친화형 기능개선(R&D) 추천과제 신청 접수 안내
세부공고명 2020년 중소기업 기술사업화 역량강화 사업 시장친화형 기능개선(R&D) 추천과제 신청 접수 안내
주관기관명 (주)그린리소스
관리기관명 인천지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 96,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 표면처리 >> 박막제조기술
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