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| 과제번호 | S2965545 |
|---|---|
| 과제명 | 2-Step 양극산화 표면처리 기술을 적용한 반도체 공정용 Chamber 제조 기술 및 Load-lock/Transfer 일체형 Chamber 개발 |
| 사업명 | 중소기업기술혁신개발사업(수출지향형) |
| 공고명 | 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘수출지향형 과제’ 제2차 시행계획 공고(수정) |
| 세부공고명 | 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘수출지향형 과제’ 제2차 시행계획 공고 |
| 주관기관명 | 주식회사 영광와이케이엠씨 |
| 관리기관명 | 대전세종지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 1,600,000,000 |
| 과제상태 | 중단 |
| 산업기술분류 | 기계ㆍ소재 >> 표면처리 >> 전자부품 표면처리기술 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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