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| 과제번호 | S3168693 |
|---|---|
| 과제명 | 대면적 디스플레이(10G 이상) 및 고집적 반도체(7나노 이하) 제조 장비용 엑시머 램프를 이용한 정전기 제거장치 및 실시간 온오프 제어 시스템 개발 |
| 사업명 | 중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) |
| 공고명 | 2021년도 중소기업기술혁신개발사업 강소기업100 과제 2차 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2021년도 중소기업기술혁신개발사업 강소기업100 과제 2차 시행계획 공고 |
| 주관기관명 | (주)선재하이테크 |
| 관리기관명 | 부산지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 810,000,000 |
| 과제상태 | 완료 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 디스플레이 >> 디스플레이 제조장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
Copyright ⓒ 중소기업기술정보진흥원. All Rights Reserved.
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