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창닫기과제번호 | S3197437 |
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과제명 | μLED 전사 및 반도체 인터포저용 Laser-induced etching 장비 개발 |
사업명 | 소재부품장비전략협력기술개발 |
공고명 | 2021년 소재부품장비 전략협력 기술개발사업 참여기업 모집공고(1단계 R&D 공동기획) |
세부공고명 | 1단계 R&D 공동기획 |
주관기관명 | 한국과학기술원 |
관리기관명 | 대전세종지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 15,000,000 |
과제상태 | 완료 |
산업기술분류 | 기계ㆍ소재 >> 정밀생산기계 >> 광 에너지 응용 가공기계 |