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과제번호 S3430364
과제명 미세 패턴 검사용 고해상도 대물렌즈 개발 및 평가기술 국산화
사업명 중소기업기술혁신개발사업(시장확대형)
공고명 2024년도 중소기업기술혁신개발사업(상생협력-소재부품장비분야) 자유공모 시행계획 공고
세부공고명 2024년도 중소기업기술혁신개발사업(상생협력-소재부품장비분야) 자유공모 시행계획 공고
주관기관명 한국전광주식회사
관리기관명 인천지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 300,000,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비
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