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과제번호 S1015265
과제명 차세대 OLED 제작장치용 진공밸브 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2007년도 중소기업기술혁신개발사업 지원계획 공고(전략과제)
세부공고명 수요조사 발굴과제
주관기관명 (주)ATS엔지니어링
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 294,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 디스플레이 >> 디스플레이 제조장비
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