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과제번호 S2829073
과제명 반도체 식각 공정용 금속불순물 1ppm급 합성쿼츠 모재 및 응용부품 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2019년도 중소기업기술혁신개발사업 혁신형기업기술개발 시행계획 공고
세부공고명 2019년도 중소기업 기술혁신개발사업(소재·부품·장비분야 추경사업)
주관기관명 (주)디에스테크노
관리기관명 강원지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 600,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 화학 >> 세라믹재료 >> 고강도ㆍ열 기능재료
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