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| 과제번호 | S1063381 |
|---|---|
| 과제명 | 반도체 공정 중 에칭공정과 화학기상증착공정에 적용가능한 플라즈마 스크러버 개발 |
| 사업명 | 중소기업이전기술개발사업 |
| 공고명 | 2009년도 중소기업기술개발지원사업 지원계획 통합공고 (2차) |
| 세부공고명 | 실용과제 |
| 주관기관명 | (주)다원시스 |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 196,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 에너지ㆍ자원 >> 온실가스처리 >> 기타 온실가스 처리기술 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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