1046 |
산학협력(예비연구) |
반도체 전공정설비용 Direct Liquid Injection(DLI)방식 Vaporizer 국산화개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1045 |
산연협력(예비연구) |
RF 13.56MHz 대응 가능한 미세 Arcing 검출 솔루션 개발 |
측정/검사 장비 |
1044 |
혁신형R&D |
인쇄회로기판(PCB)의 노광 및 DES 생산공정의 자동화 장치 개발 |
에칭 장비 |
1043 |
혁신형R&D |
그리드 커플링 부품의 복합 특성 향상을 위한 가스질화 열처리 공정 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1042 |
창업성장기술개발사업(전략형) |
차량 적층(積層) 반도체 웨이퍼용 고정도(高精度) ‘사파이어 캐리어’ 제조기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1041 |
중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) |
차세대 고급 패키징 공정용 결함 검출 및 높이 측정 복합장비 개발 |
측정/검사 장비 |
1040 |
중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) |
비메모리 반도체 테스트 초고주파수 및 초고전류용 Pogo Pin 의 개발 |
측정/검사 장비 |
1039 |
지역주력산업육성(제주) |
메타버스 기반 3D 공간구축 및 체험형 콘텐츠 플랫폼 개발 |
노광 트랙장비 |
1038 |
시도기업지원 |
충북 주력산업 지능형 IT 부품 부가가치 창출을 위한 사업화 지원 |
패키징장비 |
1037 |
중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) |
차세대 내플라즈마 코팅에 필요한 고밀도 내식각성 코팅 박막을 위한 코팅 설비부품 및 플라즈마 내식각성 평가설비 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1036 |
지역주력산업육성 |
다분할 노광공정을 가진 RTR 노광장비 |
노광 트랙장비 |
1035 |
중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) |
N2 순환형 EFEM 대체 습도제어 시스템 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1034 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) |
히팅시스템을 구비한 반도체 공정용 고내구성(25만회 이상)TRIPLE PREVENTION 게이트 밸브 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1033 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) |
AC/DC 겸용 반도체 장비 정밀제어용 초소형 비례제어 액추에이터 개발 |
에칭 장비 |
1032 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) |
반도체 확산 설비의 New Concept FIMS 제품 개발 |
열처리장비 |