194 |
과제발굴연구회사업 |
초정밀 융합공정을 적용한 차세대 첨단부품 개발 및 공정시스템 연구회 |
기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 |
193 |
기술혁신개발사업 |
비메모리 반도체 검사용 직경 30㎛급 초정밀 Vertical Probe Module 개발 |
초소형 가공 조립 측정기술 |
192 |
기술혁신개발사업 |
반도체 TSV Top CD/Depth 측정을 위한 100nm급 시스템 개발 |
초소형 가공 조립 측정기술 |
191 |
융복합기술개발사업 |
핵산미세추출, 고체지지상 유전자 증폭 및 비표지 핵산 전기적 검출이 통합적으로 구현된 분자진단 랩온어칩 시스템 개발 |
나노마이크로 센서 |
190 |
융복합기술개발사업 |
혈중종양세포 분석 디바이스기반 대장암 환자의 치료 모니터링 기술개발 |
초소형 디바이스 |
189 |
도약 R&D |
저·고점도 코팅용 나노/마이크로급 하이브리드 코팅 시스템 개발 |
기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 |
188 |
연구장비 공동활용지원사업 |
화학기계변환 원리를 활용한 현장진단기기 개발 |
초소형 디바이스 |
187 |
연구장비 공동활용지원사업 |
자동차용 Distance-Sensor Lens 및 Mold-Core 제작 |
기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 |
186 |
연구장비 공동활용지원사업 |
전자현미경용 미세나노가공기 Dual ION Gun시제품 업그레이드 개발시험 및 시제품 신뢰성 시험 개발 |
기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 |
185 |
연구장비 공동활용지원사업 |
바이오칩제조용 마이크로디스펜서 개발 |
나노 마이크로기계시스템 관련 S/W |
184 |
연구장비 공동활용지원사업 |
초정밀반사프리즘개발 |
초소형 가공 조립 측정기술 |
183 |
연구장비 공동활용지원사업 |
MEMS 관성 센서 개발 |
나노마이크로 센서 |
182 |
연구장비 공동활용지원사업 |
Head UP Display 用 Reflection-Mirror 제작 |
기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 |
181 |
창업과제-건강진단연계 |
100nm급 구조물 대면적 자동화 제작을 위한 탐침기반 나노공정장비 개발 |
기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 |
180 |
첫걸음기술개발사업 |
고미세, 고기능성 전자소자의 제조를 위한 3차원 적층형 프린팅 헤드 개발 |
기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 |