126 |
중소기업이전기술개발사업 |
공초점 현미경을 이용한 줌인(zoom-in)기능이 가능한 원자현미경 개발 |
초소형 가공 조립 측정기술 |
125 |
중소기업이전기술개발사업 |
OFML기술을 이용한 자기장에 반응하는 색가변성 도료의 개발 |
초소형 가공 조립 측정기술 |
124 |
중소기업기술혁신개발사업 |
미세금형 가공을 위한 초정밀 이송 시스템 및 가공기 개발 |
나노 마이크로기계시스템 관련 S/W |
123 |
첨단장비 활용 기술개발사업 |
휴대용 생화학 센서를 위한 다채널 미세 유체 칩 개발 |
초소형 디바이스 |
122 |
첨단장비 활용 기술개발사업 |
무동력 혈액 분석을 위한 초소형 혈액 분리장치 기술개발 |
초소형 디바이스 |
121 |
중소기업기술혁신개발사업 |
MEMS용 레이저 바이브로미터 개발 |
나노마이크로 센서 |
120 |
중소기업기술혁신개발사업 |
PCB검사용 엑스선 단층촬영장치 개발 |
나노 마이크로기계시스템 관련 S/W |
119 |
중소기업기술혁신개발사업 |
슬림 핸드폰 카메라 AF용 초박형 다이어프램 압전 액츄에이터 모듈 개발 |
초소형 구동장치 |
118 |
중소기업기술혁신개발사업 |
초소수성 나노박막 최적화 반응기 및 공정시스템 개발 |
기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 |
117 |
중소기업기술혁신개발사업 |
STRAIN-GAGE 를 이용한 고 정밀도의 변위 측정용 센서 |
초소형 가공 조립 측정기술 |
116 |
첨단장비 활용 기술개발사업 |
3차원 유한요소해에 기초한 Berkovich 압입물성평가 시험기 개발 |
시스템 특성분석 및 신뢰성 평가기술 |
115 |
중소기업기술혁신개발사업 |
Laser 간섭계를 적용한 고정도 나노급 Stage system 개발 |
나노 마이크로기계시스템 관련 S/W |
114 |
중소기업기술혁신개발사업 |
전자계를 이용한 고효율 멤스 공진 액츄에이터 기술 개발 |
초소형 구동장치 |
113 |
중소기업기술혁신개발사업 |
포러스(Porous)방식의 에어 플로팅(Air Floating)을 이용한 비접촉식 글라스 및 필름 검사장치 개발 |
나노 마이크로기계시스템 관련 S/W |
112 |
중소기업기술혁신개발사업 |
무급유 공기베어링을 적용한 300000rpm 초고속회전체 및 이송정밀도100nm급 요소기술에 의한 미소 부품 가공 시스템 개발 |
나노 마이크로기계시스템 관련 S/W |