985 |
창업성장기술개발사업(전략형) |
내플라즈마성 산화이트륨계 전구체 및 Bevel Etch용 Plasma Exclusion Zone 세라믹 Ring 제조기술 개발 |
세정장비 |
984 |
현장형R&D |
SMT 후공정 생산라인에서의 자동 솔더링 공정개선 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
983 |
중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) |
반도체용 멀티 히팅존 정전척 및 고내식성 정전척 세라믹 기술개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
982 |
산연협력(사업화 R&D) |
진공용 AF 분사장치를 활용한 광학 코팅 공정 및 장치 개발 |
증착장비 |
981 |
신진연구인력채용지원(참여기업접수용) |
고전압 전원장치 (High Voltage Power Supply) 개발 |
측정/검사 장비 |
980 |
신진연구인력채용지원(참여기업접수용) |
신진 연구인력 채용지원 사업 |
기타 반도체장비 |
979 |
소재부품장비연구인력채용지원(참여기업접수용) |
신진 연구인력 채용지원 사업 |
기타 반도체장비 |
978 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) |
반도체 공정장비용 11 W/mK 이상급 초고열전도성 소재 개발 |
에칭 장비 |
977 |
소재부품장비연구인력채용지원(참여기업접수용) |
고경력 연구인력 채용지원사업 |
측정/검사 장비 |
976 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) |
반도체 웨이퍼 절단장비 전용 40kW급 고출력 스핀들 유니트 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
975 |
중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
WLP 반도체 제품의 통합형 Wafer to Reel 고속 테스트 핸들러 개발 |
측정/검사 장비 |
974 |
중소기업기술혁신개발사업(수출지향형) |
SiCN 박막 증착용 Dual Type 300㎜ PECVD System 개발 |
증착장비 |
973 |
창업성장기술개발사업(디딤돌) |
자기에너지 활용 반도체 Wafer Test 및 이송 자동화 성능 및 생산성 향상 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
972 |
창업성장기술개발사업(전략형) |
고집적 반도체급 PCB의 Ultra Fine Pitch(Line/Space 5μm X 5μm이하) 미세 회로 제작용 Pilot 장비 개발 |
에칭 장비 |
971 |
창업성장기술개발사업(전략형) |
웨이퍼 이송 안정성 확보를 위한 반도체 이송로봇의 위치 정밀도 측정 장비 개발 |
측정/검사 장비 |