670 |
산학협력(예비연구) |
비접촉/비파괴 검사용 고감도, 광대역 광역학 초음파 센서 개발 |
MEMS 소자 |
669 |
산연협력(예비연구) |
반도체 패키지용 near defect-free 실리콘 스페이스 웨이퍼 제조기술 개발 |
Si 소자 |
668 |
산연협력(예비연구) |
35um pitch VOx 적외선 센서의 흡수율 및 응답속도 향상을 위한 메타 표면 기술 개발 |
MEMS 소자 |
667 |
산학협력(예비연구) |
초소형 정밀기계 기술 (MEMS)을 활용한 전자전용 와이드밴드 대역통과여파기 개발 |
MEMS 소자 |
666 |
산학협력(예비연구) |
초미세배선 공정을 위한 루테늄 전구체 및 무전해도금공정 기술 개발 |
반도체 재료 |
665 |
현장형R&D |
적외선 에피 웨이퍼의 4인치화를 통한 생산성 향상 |
반도체 재료 |
664 |
컨소시엄형기술개발지원프로그램 |
스마트 영농 특화 비행데이터 수집 장치 개발 |
SoC |
663 |
지역주력산업육성 |
전자식 나침반 기능 구현을 위한 모바일 기기용 5세대 지자기센서 IC 개발 |
SenSor용 소자 |
662 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
3nm 미세공정용 웨이퍼 제조를 위한 32인치 석영 도가니의 외층 리튬 0.1ppm 이하 저감 기술 개발 |
반도체 재료 |
661 |
중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
고출력 칩 실장용 고방열 기판 생산이 가능한 구리 적층 프린팅 기술을 적용한 전력반도체용 방열기판 개발 |
Si 소자 |
660 |
중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
전력반도체 SiC 식각공정에 사용되는 Si-Cathode용 실리콘 절단 시스템 개발 |
Si 소자 |
659 |
창업성장기술개발사업(전략형) |
외국 독점 반도체부품 코팅용 Pd-Co 도금액 국산화 |
반도체 재료 |
658 |
창업성장기술개발사업(전략형) |
±100g 측정 가능한 고충격 고민감도 MEMS 가속도센서 개발 |
MEMS 소자 |
657 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) |
프리미엄 세탁건조기용 업데이트 가능한 저장 및 제어장치를 갖는 스마트 홀센서리스 3상 BLDC모터 구동 반도체 개발 |
설계 Tool |
656 |
소재부품장비전략협력기술개발 |
초고집적 반도체 패키징 TSV 공정용 Cu CMP 슬러리 소재국산화 |
반도체 재료 |