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996 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) 대형(1m×2m급 이상) CIP 장비를 활용한 반도체 에칭공정용 저 유전손실을 갖는 500mm급 고밀도 세라믹 Isolator 국산화 기술 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
995 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) 비메모리 반도체 제조공정 국산화·고도화 지원를 위한 200mm(8인치)공정 전용 AI 자가진단 및 진동감쇠모듈 내장형 반도체웨이퍼이송장비 패키지(SMIF POD Handler + Active buffer) 개발 측정/검사 장비
994 중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) 차세대 인터페이스 기반의 64Gbps급 SSD Tester 시스템 개발 측정/검사 장비
993 중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) 반도체 전공정 검사/계측/고진공 장비를 위한 초정밀 모션 스테이지 표준 플랫폼 개발 측정/검사 장비
992 중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) 반도체 확산 공정용 Plate coil형 쿼츠 히터 3종(U,W,L) 국산화 기술 개발 증착장비
991 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) 3way 공압 솔레노이드 밸브 개발을 통한 진동 제어시스템 적용 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
990 창업성장기술개발사업(TIPS) 디스플레이, 반도체 서브미크론 검사에 최적화된 초고휘도 광원 및 피에조 오토 포커스 모듈 기반의 고성능 검사 시스템 측정/검사 장비
989 맞춤형 기술파트너 지원사업(포인트) 산업용 X-ray Line Detector의 방수 구조의 설계 측정/검사 장비
988 맞춤형 기술파트너 지원사업(포인트) 반도체 외산 Chiller의 국산화를 위한 통신/온도 모듈 개발 기타 반도체장비
987 창업성장기술개발사업(디딤돌) 차세대 이미지 센서 특성 검사 시스템(수입장비대체) 측정/검사 장비
986 창업성장기술개발사업(디딤돌) Wafer Loading Condition Check System의 자동화기술 개발 열처리장비
985 창업성장기술개발사업(전략형) 내플라즈마성 산화이트륨계 전구체 및 Bevel Etch용 Plasma Exclusion Zone 세라믹 Ring 제조기술 개발 세정장비
984 현장형R&D SMT 후공정 생산라인에서의 자동 솔더링 공정개선 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
983 중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) 반도체용 멀티 히팅존 정전척 및 고내식성 정전척 세라믹 기술개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
982 산연협력(사업화 R&D) 진공용 AF 분사장치를 활용한 광학 코팅 공정 및 장치 개발 증착장비
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