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No 사업분류 과제명 세부분야
147 첨단장비 활용 기술개발사업 Micro Mold를 이용한 정밀 도금 Tip 제작 초소형 디바이스
146 중소기업이전기술개발사업 증폭원리를 이용한 피드백 시스템이 포함된 나노스테이지 기술 개발 초소형 구동장치
145 첨단장비 활용 기술개발사업 나노분산을 위한 간극조절형 고효율 콜로이드밀의 최적설계 및 개발 기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술　
144 생산환경혁신기술개발사업 초정밀 Mems 가공품 두께측정 및 표면검사 기술 개발 초소형 가공 조립 측정기술
143 중소기업이전기술개발사업 나노급 다기능 높이 측정장치 실용화개발 초소형 가공 조립 측정기술
142 중소기업기술혁신개발사업 TFT-LCD 점등검사용 Flexible Unit System 개발 기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술　
141 중소기업기술혁신개발사업 압전소자 구동형 나노 정밀도 XYθz 스테이지 개발 기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술　
140 중소기업기술혁신개발사업 미세 홀이 가공된 450mm 급 프로브카드 용 MEMS 기판 개발 초소형 가공 조립 측정기술
139 중소기업기술혁신개발사업 나노전자공구현미경 개발 초소형 가공 조립 측정기술
138 중소기업기술혁신개발사업 Dry Etch 장비용 실리콘/탄화규소 핵심 부품 가공 기술 개발 나노 마이크로기계시스템 관련 S/W
137 중소기업이전기술개발사업 나노분말을 이용한 가스센서 및 검지기 개발 나노마이크로 센서
136 중소기업기술혁신개발사업 비접촉식 다중시료 동시 프린팅 기술을 이용한 단백질칩 개발 나노마이크로 센서
135 첨단장비 활용 기술개발사업 Knoop 압입자를 이용한 잔류응력 평가 미소시험기 개발 시스템 특성분석 및 신뢰성 평가기술
134 중소기업기술혁신개발사업 바이오물질의 메디칼재 박막코팅 시스템 개발 나노 마이크로기계시스템 관련 S/W
133 중소기업기술혁신개발사업 다기능 NANO FIBER SYSTEM 장비 개발 기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술　
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