2024년 중소기업기술개발지원사업 통합공고 안내 24년 통합공고문 보러 가기
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기술분야검색 리스트
No 사업분류 과제명 세부분야
1044 산연협력(예비연구) RF 13.56MHz 대응 가능한 미세 Arcing 검출 솔루션 개발 측정/검사 장비
1043 혁신형R&D 인쇄회로기판(PCB)의 노광 및 DES 생산공정의 자동화 장치 개발 에칭 장비
1042 혁신형R&D 그리드 커플링 부품의 복합 특성 향상을 위한 가스질화 열처리 공정 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
1041 창업성장기술개발사업(전략형) 차량 적층(積層) 반도체 웨이퍼용 고정도(高精度) ‘사파이어 캐리어’ 제조기술 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
1040 중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) 차세대 고급 패키징 공정용 결함 검출 및 높이 측정 복합장비 개발 측정/검사 장비
1039 중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) 비메모리 반도체 테스트 초고주파수 및 초고전류용 Pogo Pin 의 개발 측정/검사 장비
1038 시도기업지원 충북 주력산업 지능형 IT 부품 부가가치 창출을 위한 사업화 지원 패키징장비
1037 중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) 차세대 내플라즈마 코팅에 필요한 고밀도 내식각성 코팅 박막을 위한 코팅 설비부품 및 플라즈마 내식각성 평가설비 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
1036 지역주력산업육성 다분할 노광공정을 가진 RTR 노광장비 노광 트랙장비
1035 중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) N2 순환형 EFEM 대체 습도제어 시스템 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
1034 중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) 히팅시스템을 구비한 반도체 공정용 고내구성(25만회 이상)TRIPLE PREVENTION 게이트 밸브 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
1033 중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) AC/DC 겸용 반도체 장비 정밀제어용 초소형 비례제어 액추에이터 개발 에칭 장비
1032 중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) 반도체 확산 설비의 New Concept FIMS 제품 개발 열처리장비
1031 구매조건부신제품개발사업(구매연계형) 반도체 핸들링 로봇 제어에 최적화 설계된 분진저감 케이블 보호 시스템 개발 측정/검사 장비
1030 중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) 반도체 웨이퍼 증착 시 온도를 균일하게 제어하여 증착 불량률을 낮추고 생산성을 높이는 2Zone-2T/C 질화알루미늄 히터 개발 증착장비
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