기술분야별 지원과제 검색
[검색결과: 1127 건]
기술분야검색 리스트
No 사업분류 과제명 세부분야
872 중소기업R&D기획지원사업 하이브리드·자동화 웨이퍼 박막 두께 광측정 장비 개발 측정/검사 장비
871 중소기업R&D기획지원사업 반도체 Wafer 미끄럼방지용 고성능 특수 Pad 부품 국산화 제조 R&D 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
870 중소기업기술혁신개발사업 12kV, 50~500pF 커패시턴스 가변형 진공커패시터 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
869 중소기업기술혁신개발사업 기류흐름 제어 기술을 이용한 반도체 제조 수율 향상 시스템 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
868 중소기업기술혁신개발사업 Defect-free 극자외선 blank mask 제작을 위한 대면적 ion beam sputter source 국산화 개발 증착장비
867 중소기업기술혁신개발사업 10nm급 반도체용 100℃ 이하 저온 및 시간당 110매 이상 고생산성 공간분할 원자층 박막 증착 장비 개발 증착장비
866 중소기업기술혁신개발사업 반도체 패키지의 저온 스퍼터링 공정을 위한 하부 돌출 전극 밀봉재 및 밀봉기술 국산화 증착장비
865 구매조건부신제품개발사업(민관공동투자) 반송 웨이퍼 회수 및 관리 자동화 장비 개발 기타 반도체장비
864 구매조건부신제품개발사업(민관공동투자) In-Fab AFM 검사 장비 구축을 위한 양산기술 확보 측정/검사 장비
863 창업성장-기술개발사업 ±1A 전류 편차와 양방향 통신기능을 가지는 정전류 모듈을 통하여 불량률 5% 이하 저감을 위한 VCP Line의 통합제어시스템 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
862 구매조건부신제품개발사업(민관공동투자) PCB용 SCAN WET 전처리설비 개발 기타 반도체장비
861 창업성장-기술개발사업 IoT Chiller를 위한 HMI기반 LoRa IoT솔루션 기타 반도체장비
860 창업성장-기술개발사업 반도체 장비 개조를 통한 Dry Clean 신기능 추가로 불산 Zero화 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
859 창업성장-기술개발사업 직접용융접합법을 이용한 반도체 확산공정용 쿼츠 BTM 히터 제조기술 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
858 창업성장-기술개발사업 반도체 공정용 발열 기화 필터 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
처음페이지 이전페이지  11  12  13  14  15  16  17  18  19  20   다음페이지 마지막페이지