1088 |
창업성장기술개발사업(디딤돌) |
1회용 식각 보호 필름이 필요 없는 진공척 기반 웨이퍼 Bevel Etching & Cleaning 모듈 개발 |
에칭 장비 |
1087 |
창업성장기술개발사업(디딤돌) |
삼차원 적층 반도체용 인라인 공정대응 초음파 불량 가속검출 핵심모듈 기술개발 |
측정/검사 장비 |
1086 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
신선 농산물 장기 저장을 위한 스마트 플라즈마 저온 저장고용 자동 제어 모니터링 장비 개발 |
측정/검사 장비 |
1085 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
첨단 패키징 미래 기술 확보를 위한 비아홀 검사 측정 시스템 |
측정/검사 장비 |
1084 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
Metal 증착 공정용 박막 균일도가 향상된 300mm 반도체 스퍼터용 마그네트론 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1083 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
I-Motion 구조를 적용한 반도체 공정용 고내구성, 고정밀성 슬릿 밸브 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1082 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
전력반도체 SiC 8인치 웨이퍼 제조용 챔버형 PVT 결정성장 장비개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1081 |
창업성장기술개발사업(디딤돌) |
반도체 검사용 초정밀스테이지 시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
1080 |
창업성장기술개발사업(전략형) |
반도체 세정장비용 내화학성이 우수한 PC계열의 투시패널 감시창 개발 |
세정장비 |
1079 |
창업성장기술개발사업(전략형) |
RDL/TSV 반도체공정용 진공 전처리 도금 기술이 적용된 웨이퍼 도금 장비 개발 |
패키징장비 |
1078 |
창업성장기술개발사업(전략형) |
전기식 냉각장치를 활용한 대기오염방지 및 폐수발생저감 기술 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1077 |
중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) |
반도체 공정용 In-Line AFM 기반의 전기적 특성 계측 / 검사 시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
1076 |
중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) |
Fan-Out 반도체 Packaging을 위한 Plasma 처리 장치 |
패키징장비 |
1075 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
AIoT 제어모듈을 포함한 복합체(CNT + CF) 기반의 반도체 공정배관向 스마트 발열시스템 개발 (≥200℃ 온도제어 및 균일성, 시공 용이성을 포함한 생산성 확보) |
기타 반도체장비 |
1074 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
반도체 냉각칠러 관리용 적외선 측정기 개발 |
기타 반도체장비 |