1112 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
50um Pitch 이하 4-Wire Bare Board Test용 MEMS Wire Probe 개발 |
측정/검사 장비 |
1111 |
지역주력산업육성 |
AI 영상분석 기반 저비용·탁상형 3D PCB 비전 불량판단 장비 개발 |
측정/검사 장비 |
1110 |
지역주력산업육성 |
반도체 웨이퍼칩 분석을 위한 1μm급 스테이지 개발 및 전자주사현미경 측정 장비 개발 |
측정/검사 장비 |
1109 |
지역주력산업육성 |
반도체 웨이퍼 공정용 핵심 부품인 초고온용 450도 Bi-polar 정전척 국산화 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1108 |
지역주력산업육성 |
열화상 센서 불량 검사용 반도체 테스트 핸들러 장비 개발 |
측정/검사 장비 |
1107 |
지역주력산업육성 |
공정단축형 레이저 솔더 볼 접합 장비 및 공정 개발 |
패키징장비 |
1106 |
지역주력산업육성 |
인공지능을 이용한 반도체 장비의 실시간 이상감지 및 공정변수 최적화 시스템 개발 |
기타 반도체장비 |
1105 |
지역주력산업육성 |
양성자 유도 감마선 발생 기술 기반 40 keV급 연구용 소형 이온주입 장비 개발 |
이온주입장비 |
1104 |
지역스타기업육성 |
전력반도체 소자의 Power Cycle 신뢰성 시험장치 개발 (최대 가열전류: 2,400A) |
측정/검사 장비 |
1103 |
지역주력산업육성 |
반도체 크랙 검출을 위한 SWIR(Shortwave Infrared) 기반의 딥러닝 검사 시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
1102 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
중국 수출향 반도체 Wafer Test 용 저저항 고탄성 이종 금속 다단 접합 MEMs Vertical Probe Pin 개발 |
측정/검사 장비 |
1101 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
반도체 금속 배선 증착용 300mm 티타늄(Ti) 스퍼터링 공정챔버 개발 |
증착장비 |
1100 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
반도체 핵심 공정장비 챔버내 압력의 정밀제어를 위한 컨트롤 시스템 밸브 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1099 |
구매조건부신제품개발사업(공동투자형) |
비메모리 반도체용 Thin(Warpage) Wafer Defect Inspection System 개발 및 제품화 |
측정/검사 장비 |
1098 |
구매조건부신제품개발사업(공동투자형) |
세계 최초/최고 수준 극저온 Etching 장비 방열패드 및 E-band 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |