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| 과제번호 | S3489387 |
|---|---|
| 과제명 | 고속 Scanner 기반 Laser Annealing 반도체 열처리 장비 |
| 사업명 | 기술사업화 패키지 사업 |
| 공고명 | 2026년도 기술사업화 패키지 지원사업 제1차 시행계획 수정 공고(정부 R&D 우수과제) |
| 세부공고명 | 2026년도 기술사업화 패키지 지원사업 제1차 시행계획 공고(정부 R&D 우수과제) |
| 주관기관명 | 알엔알랩 |
| 관리기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 150,000,000 |
| 과제상태 | 과제진행중 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 열처리장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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