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과제번호 S3483444
과제명 12인치급 양산형 고결정성 이차원 반도체 증착 장비에 적용 가능한 고재현성 알칼리 촉진자 공급 시스템 및 고효율 전단 반응 모듈 개발
사업명 신진연구인력채용지원(참여기업접수용)
공고명 2026년 중소기업 연구인력지원사업(채용, 신진) 공고
세부공고명 2026년 중소기업 연구인력지원사업(채용, 신진) 공고
주관기관명 주식회사 티디에스이노베이션
관리기관명 한국산업기술진흥협회
전문기관명 한국산업기술진흥협회
정부출연금 82,500,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비
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