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과제번호 S3473779
과제명 반도체 건식 식각장비용 CVD SiC+Si 이종소재 Hybrid 상부 전극 개발
사업명 주력산업 생태계 구축
공고명 2026년 지역혁신선도기업육성(R&D)-주력산업 생태계 구축 지원계획 공고
세부공고명 2026년 지역혁신선도기업육성(R&D)-주력산업 생태계 구축 지원계획 공고
주관기관명 씨엠티엑스
관리기관명 (재)경북테크노파크
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 980,000,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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