기술분야별 지원과제 검색
기술분야별검색 내용
과제번호 S3472932
과제명 AOTF HSI 분광 분석기의 AI 활용을 통한 반도체 전공정 film 두께 측정 및 결함 검출 장비 개발
사업명 주력산업 생태계 구축
공고명 2026년 지역혁신선도기업육성(R&D)-주력산업 생태계 구축 지원계획 공고
세부공고명 2026년 지역혁신선도기업육성(R&D)-주력산업 생태계 구축 지원계획 공고
주관기관명 (주)디엘정보기술
관리기관명 (재)충북테크노파크
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 980,000,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비
재검색 목록보기