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과제번호 S3248899
과제명 포토마스크용 대면적 후판 쿼츠 폴리싱 연마장비의 개발
사업명 산연협력(예비연구)
공고명 2022년도 산연 Collabo R&D사업(예비연구) 시행계획 공고
세부공고명 2022년도 산연 Collabo R&D사업(예비연구) 시행계획 공고
주관기관명 씨엠티(주)
관리기관명 대구경북지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 49,200,000
과제상태 완료
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 정밀생산기계 >> 연삭/연마 가공기계
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