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창닫기과제번호 | S3245758 |
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과제명 | 광반응(Photo Reaction)을 이용한 반도체 식각용 친환경 고순도 C4F6 가스 생산 기술개발 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
공고명 | 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 '소부장전략' 과제 시행계획 공고 |
세부공고명 | 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 '소부장전략' 과제 시행계획 공고 |
주관기관명 | (주)진성이엔지 |
관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 499,000,000 |
과제상태 | 과제진행중 |
산업기술분류 | 화학 >> 정밀화학 >> 전자산업용 정밀화학소재 |